晶圆搬运显微镜
| 晶圆显微镜 | 型号 | AWL046 | AWL068 | |
| 晶圆尺寸（SEMI规格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | ||
| 晶圆最小厚度 | 150um | 180um | ||
| 片盒类型 | 开放式片盒（SEMI Stad.25「26」-slot | |||
| 片盒数量 | 1Pot | |||
| 检查模式设置 | 全检/奇数检/偶数检/手动选择 | |||
| 片盒内晶圆扫描 | ● | ● | ||
| 晶圆预定位 | ● | ● | ||
| 晶圆定位 | 非接触式定位平面N型槽，支持0°、90°、180°、270°、朝前设置 | |||
| 检查功能 | 微观检查 | ● | ● | |
| 晶圆宏面检查 | ● | ● | ||
| 晶圆宏面检查1 | ● | ● | ||
| 晶圆宏面检查2 | ● | ● | ||
| 适配显微镜 | SOPTOP MX68R金相显微镜 | |||
| 载物台 | ◼6英寸四层机械移动平台，低位手X Y方向同轴调节； ◼晶圆承片台，可360°旋转； ◼移动行程228mm（X方向）×170mm（Y方向）观察范围；170mm×170mm ◼带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动。 |
◼8英寸四层机械移动平台，低位手X Y方向同轴调节； ◼晶圆承片台，可360°旋转； ◼移动行程228mm（X方向）×280mm（Y方向）观察范围；210mm×210mm ◼带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动。 |
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| 电源 | 1P/220V/16A | |||