喷胶机 ASP系列
SPRAY COATER
设备配置 2-4 chambers (option: COT、DEV)
衬底材质 Si、Glass等
适用工艺 深孔喷胶TSV、高深宽比台阶喷胶
工艺指标 平面均匀性≤5%@5-10µm、台阶覆盖率≥30%
应用领域 先进封装、MEMS、科研等
设备尺寸 2665*2825*2550mm(W*D*H)
技术特征：
衬底材质 Si、Glass等
适用工艺 深孔喷胶TSV、高深宽比台阶喷胶
工艺指标 平面均匀性≤5%@5-10µm、台阶覆盖率≥30%
应用领域 先进封装、MEMS、科研等
设备尺寸 2665*2825*2550mm(W*D*H)
技术特征：
适用于表面刻有深孔的高表面形貌圆形或方形基片的喷涂工艺要求，超声波雾化光刻胶胶粒
可均匀覆盖台阶表面、边缘、侧壁、底部；
设备可配置匀胶腔体和显影腔体；