6英寸匀胶显影机 ACD6
SPIN COATER&DEVELOPER
设备配置 3C、4C、6D
衬底材质 Si、Glass、Sapphire等
适用工艺 G-line、i-line
应用领域 功率器件、LED等
设备尺寸 1050*1900*2200mm(W*D*H)
技术特征：
衬底材质 Si、Glass、Sapphire等
适用工艺 G-line、i-line
应用领域 功率器件、LED等
设备尺寸 1050*1900*2200mm(W*D*H)
技术特征：
· 超高产能、更低的COO使用成本；
· 设备结构紧凑、占地面积小（面宽仅1.1m）；
· 功能齐全，具备EBR、BSR、RRC、胶嘴自动保湿清洗等功能；
可做两种尺寸完全兼容，不需要更换零件；